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半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏
Web 结果2024年2月18日 东莞南方半导体科技有限公司 品质主管. 从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发 半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏Web 结果2024年2月18日 东莞南方半导体科技有限公司 品质主管. 从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发
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多达数十家，SiC关键设备企业图谱 - 知乎
Web 结果2024年2月18日 01. 碳化硅扩产进行时. 据集邦化合物半导体不完全统计，2023年国内共有近40项SiC相关扩产项目启动，累计投入近900亿元。 其中，衬底是碳化硅产 多达数十家，SiC关键设备企业图谱 - 知乎Web 结果2024年2月18日 01. 碳化硅扩产进行时. 据集邦化合物半导体不完全统计，2023年国内共有近40项SiC相关扩产项目启动，累计投入近900亿元。 其中，衬底是碳化硅产
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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...
Web 结果15 小时之前 在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。作 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果15 小时之前 在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。作
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公司简介-碳化硅设备研发、生产、销售企业-苏州优晶半导体 ...
Web 结果苏州优晶半导体科技股份有限公司是一家专注于大尺寸（6英寸及以上）导电型碳化硅晶体生长设备研发、生产及销售的高新技术企业。 公司自2014年开始研发电阻法碳化 公司简介-碳化硅设备研发、生产、销售企业-苏州优晶半导体 ...Web 结果苏州优晶半导体科技股份有限公司是一家专注于大尺寸（6英寸及以上）导电型碳化硅晶体生长设备研发、生产及销售的高新技术企业。 公司自2014年开始研发电阻法碳化
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产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻
Web 结果2022年12月15日 环球晶董事长徐秀兰也在6月21日举办的股东会上表示，环球晶决定新增制造设备项目，规划自行设计生产碳化硅长晶炉设备，以强化产品的可控因素 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻Web 结果2022年12月15日 环球晶董事长徐秀兰也在6月21日举办的股东会上表示，环球晶决定新增制造设备项目，规划自行设计生产碳化硅长晶炉设备，以强化产品的可控因素
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行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...
Web 结果2023年2月26日 设备是决定各厂商产能上限的决定性因素。 碳化硅产业资本开支加速，供应链安全可控助力国产碳化硅设备厂商突围 碳化硅晶圆和器件的制备基本工艺 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...Web 结果2023年2月26日 设备是决定各厂商产能上限的决定性因素。 碳化硅产业资本开支加速，供应链安全可控助力国产碳化硅设备厂商突围 碳化硅晶圆和器件的制备基本工艺
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首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有
Web 结果2020年10月21日 碳化硅粉料合成设备. 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量有重要作用。 主要技术难点：高温高真空密封与控制、真空室水冷、 首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有 Web 结果2020年10月21日 碳化硅粉料合成设备. 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量有重要作用。 主要技术难点：高温高真空密封与控制、真空室水冷、
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德国PVA TePla集团展示"中国版“”碳化硅晶体生长设备“SiCN”
Web 结果22 小时之前 2024年3月20日，半导体行业盛会 SEMICON China 2024启幕，全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团再次亮相，并向行业展示其最新打造的国产 德国PVA TePla集团展示"中国版“”碳化硅晶体生长设备“SiCN”Web 结果22 小时之前 2024年3月20日，半导体行业盛会 SEMICON China 2024启幕，全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团再次亮相，并向行业展示其最新打造的国产
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国内外碳化硅装备发展状况 SiC产业环节及关键装备 - 模拟 ...
Web 结果2023年4月25日 国内外碳化硅装备发展状况. 2.1 SiC单晶生长设备. SiC单晶生长主要有物理气相运输法、高温化学气相沉积法和溶液转移法 [6]，如图2所示。 目前产业上 国内外碳化硅装备发展状况 SiC产业环节及关键装备 - 模拟 ...Web 结果2023年4月25日 国内外碳化硅装备发展状况. 2.1 SiC单晶生长设备. SiC单晶生长主要有物理气相运输法、高温化学气相沉积法和溶液转移法 [6]，如图2所示。 目前产业上
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碳化硅（SiC）行业深度：市场空间、未来展望、产业链及相关 ...
Web 结果2023年10月27日 二、行业现状及市场空间 1、全球碳化硅器件市场格局由海外巨头主导 海外企业由于占据先发优势，在技术进展与产能规模上具备一定垄断地位。根据数据，市场份额由海外巨头意法半导体、Wolfspeed、罗姆、英飞凌、三菱电机、安森美等厂商垄断，其中最大的碳化硅器件商为意法半导体，是特斯拉 ... 碳化硅（SiC）行业深度：市场空间、未来展望、产业链及相关 ...Web 结果2023年10月27日 二、行业现状及市场空间 1、全球碳化硅器件市场格局由海外巨头主导 海外企业由于占据先发优势，在技术进展与产能规模上具备一定垄断地位。根据数据，市场份额由海外巨头意法半导体、Wolfspeed、罗姆、英飞凌、三菱电机、安森美等厂商垄断，其中最大的碳化硅器件商为意法半导体，是特斯拉 ...
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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...
Web 结果15 小时之前 在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。作为最早将碳化硅晶体设备引入中国市场的企业之一，德国PVA TePla集团始终致力于融合中德前沿技术优势。 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果15 小时之前 在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。作为最早将碳化硅晶体设备引入中国市场的企业之一，德国PVA TePla集团始终致力于融合中德前沿技术优势。
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浅析国产碳化硅外延炉设备 - 知乎
Web 结果2024年1月17日 浅析国产碳化硅外延炉设备. 石大小生. . 北京北方华创微电子装备有限公司 销售. . 目录. 受益于碳化硅下游市场需求逐步放大，国内多个碳化硅外延项目发布了扩产和新建开工的计划：. 一代工艺一代设备，外延生长在SiC器件制造成本中占比超20%，SiC外延炉是 第 ... 浅析国产碳化硅外延炉设备 - 知乎Web 结果2024年1月17日 浅析国产碳化硅外延炉设备. 石大小生. . 北京北方华创微电子装备有限公司 销售. . 目录. 受益于碳化硅下游市场需求逐步放大，国内多个碳化硅外延项目发布了扩产和新建开工的计划：. 一代工艺一代设备，外延生长在SiC器件制造成本中占比超20%，SiC外延炉是 第 ...
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半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏
Web 结果2024年2月18日 一、SiC 单晶生长设备. SiC PVT生长设备是国产化较高的设备,其难点在于需要解决SiC晶体生长难度大、重复性低、生长良率低、长晶工艺各不相同以及设备高度定制化等挑战，未来设备技术将朝着自动化、高工艺重复性、提升晶体生长良率和厚度以及8时大直径长晶 ... 半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏Web 结果2024年2月18日 一、SiC 单晶生长设备. SiC PVT生长设备是国产化较高的设备,其难点在于需要解决SiC晶体生长难度大、重复性低、生长良率低、长晶工艺各不相同以及设备高度定制化等挑战，未来设备技术将朝着自动化、高工艺重复性、提升晶体生长良率和厚度以及8时大直径长晶 ...
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碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有 ...
Web 结果2022年3月2日 1. SiC 碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心. 1.1. SiC 特点：第三代半导体之星，高压、高功率应用场景下性能优越. 半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料。. 核心分为以下三代：. 1) 第一代元素半导体材料：硅（Si）和锗 (Ge)；为半导体最 ... 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有 ...Web 结果2022年3月2日 1. SiC 碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心. 1.1. SiC 特点：第三代半导体之星，高压、高功率应用场景下性能优越. 半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料。. 核心分为以下三代：. 1) 第一代元素半导体材料：硅（Si）和锗 (Ge)；为半导体最 ...
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复杂结构碳化硅陶瓷制备工艺的研究进展_烧结
Web 结果2021年8月18日 在冷等静压成型结合无压烧结工艺制备复杂结 构碳化硅陶瓷的过程中，碳化硅素坯未经过烧结时强度较低，薄壁结构在加工过程中易开裂；采用无压烧结工艺制备碳化硅陶瓷，近净成型尺寸控制难度很大；烧结后的碳化硅陶瓷硬度高、脆性大，通常采用加工中心 ... 复杂结构碳化硅陶瓷制备工艺的研究进展_烧结Web 结果2021年8月18日 在冷等静压成型结合无压烧结工艺制备复杂结 构碳化硅陶瓷的过程中，碳化硅素坯未经过烧结时强度较低，薄壁结构在加工过程中易开裂；采用无压烧结工艺制备碳化硅陶瓷，近净成型尺寸控制难度很大；烧结后的碳化硅陶瓷硬度高、脆性大，通常采用加工中心 ...
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碳化硅的合成、用途及制品制造工艺
Web 结果2020年6月10日 碳化硅是用天然硅石、碳、木屑、工业盐作基本合成原料，在电阻炉中加热反应合成。. 其中加入木屑是为了使块状混合物在高温下形成多孔性，便于反应产生的大量气体及挥发物从中排除，避免发生爆炸，因为合成IT碳化硅，将会生产约1.4t的一氧化碳 (CO ... 碳化硅的合成、用途及制品制造工艺Web 结果2020年6月10日 碳化硅是用天然硅石、碳、木屑、工业盐作基本合成原料，在电阻炉中加热反应合成。. 其中加入木屑是为了使块状混合物在高温下形成多孔性，便于反应产生的大量气体及挥发物从中排除，避免发生爆炸，因为合成IT碳化硅，将会生产约1.4t的一氧化碳 (CO ...
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晶盛机电:迈向半导体+碳化硅设备龙头,设备+零部件布局铸造 ...
Web 结果2023年7月17日 半导体硅片生产 工序流程与光伏硅片相似，但不同之处在于： 1）光伏长晶炉在整线中价值量占比超过 80%，而半导体硅片设备中单晶炉、切磨抛 设备、外延炉在整线中价值量占比均较高； 2）由于技术壁垒较高，半导体硅片单台价值量远高于光伏。. 长晶工艺 ... 晶盛机电:迈向半导体+碳化硅设备龙头,设备+零部件布局铸造 ...Web 结果2023年7月17日 半导体硅片生产 工序流程与光伏硅片相似，但不同之处在于： 1）光伏长晶炉在整线中价值量占比超过 80%，而半导体硅片设备中单晶炉、切磨抛 设备、外延炉在整线中价值量占比均较高； 2）由于技术壁垒较高，半导体硅片单台价值量远高于光伏。. 长晶工艺 ...
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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...
Web 结果22 小时之前 中国，上海—2024年3月20日，半导体行业盛会 SEMICON China 2024启幕，全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团再次亮相，并向行业展示其最新打造的国产碳化硅晶体生长设备“SiCN”。该设备专为中国市场定制，并结合半导体行业生 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果22 小时之前 中国，上海—2024年3月20日，半导体行业盛会 SEMICON China 2024启幕，全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团再次亮相，并向行业展示其最新打造的国产碳化硅晶体生长设备“SiCN”。该设备专为中国市场定制，并结合半导体行业生
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公司简介-碳化硅设备研发、生产、销售企业-苏州优晶半导体 ...
Web 结果苏州优晶半导体科技股份有限公司是一家专注于大尺寸（6英寸及以上）导电型碳化硅晶体生长设备研发、生产及销售的高新技术企业。公司自2014年开始研发电阻法碳化硅生长设备及工艺，历经5年，于2019年成功研制出6英寸电阻法碳化硅单晶生长设备，经持续工艺优化，目前已推出至第四代机型 ... 公司简介-碳化硅设备研发、生产、销售企业-苏州优晶半导体 ...Web 结果苏州优晶半导体科技股份有限公司是一家专注于大尺寸（6英寸及以上）导电型碳化硅晶体生长设备研发、生产及销售的高新技术企业。公司自2014年开始研发电阻法碳化硅生长设备及工艺，历经5年，于2019年成功研制出6英寸电阻法碳化硅单晶生长设备，经持续工艺优化，目前已推出至第四代机型 ...
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疯狂的碳化硅，国内狂追！-全球半导体观察
Web 结果2024年1月24日 碳化硅器件制造则与设备国产化进程息息相关，设备需求主要包括高温离子注入机、高温退火炉、SiC减薄设备、背面金属沉积设备、背面激光退火设备、SiC衬底和外延片表面缺陷检测和计量。 近几年是国产设备厂商的黄金发展3年，我国上 疯狂的碳化硅，国内狂追！-全球半导体观察Web 结果2024年1月24日 碳化硅器件制造则与设备国产化进程息息相关，设备需求主要包括高温离子注入机、高温退火炉、SiC减薄设备、背面金属沉积设备、背面激光退火设备、SiC衬底和外延片表面缺陷检测和计量。 近几年是国产设备厂商的黄金发展3年，我国上
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造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_工艺_碳化硅_中国
Web 结果2023年5月21日 碳化硅设备成入局“香饽饽”.集微网 [4]一张图了解生产碳化硅晶片的灵魂装备——长晶炉. 粉体网 （中国粉体网编辑整理/山川） 返回搜狐，查看更多 责任编辑： 平台声明：该文观点仅代表作者 造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_工艺_碳化硅_中国Web 结果2023年5月21日 碳化硅设备成入局“香饽饽”.集微网 [4]一张图了解生产碳化硅晶片的灵魂装备——长晶炉. 粉体网 （中国粉体网编辑整理/山川） 返回搜狐，查看更多 责任编辑： 平台声明：该文观点仅代表作者
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行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...
Web 结果2023年2月26日 《工业母机、碳化硅设备国产化再迎 利好—行业周报》-2023.2.12 《制造业基础核心部件、底层软件高 端自主化战略意义提升—行业点评报 告》-2023.2.7 证 关注碳化硅设备国产化突破和加速 ——行业周报 孟鹏飞（分析师） 熊亚威（分析师） mengpengfei@ 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...Web 结果2023年2月26日 《工业母机、碳化硅设备国产化再迎 利好—行业周报》-2023.2.12 《制造业基础核心部件、底层软件高 端自主化战略意义提升—行业点评报 告》-2023.2.7 证 关注碳化硅设备国产化突破和加速 ——行业周报 孟鹏飞（分析师） 熊亚威（分析师） mengpengfei@
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碳化硅素生产设备
Web 结果碳化硅素生产设备 2019-05-25T13:05:36+00:00 首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做 1碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量有 碳化硅是除了金刚石以外世界上 ... 碳化硅素生产设备Web 结果碳化硅素生产设备 2019-05-25T13:05:36+00:00 首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做 1碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量有 碳化硅是除了金刚石以外世界上 ...
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碳化硅粉生产工艺 - 百度文库
Web 结果选择合适的设备对于碳化硅粉的生产工艺至关重要。下面介绍几种常用的设备。 1. 混合设备 混合设备的选择应考虑原料的粒度、混合效果以及生产能力。常见的混合设备包括双轴混合机和球磨机等。 2. 烧结设备 烧结设备的主要考虑因素是温度控制和反应效率。 碳化硅粉生产工艺 - 百度文库Web 结果选择合适的设备对于碳化硅粉的生产工艺至关重要。下面介绍几种常用的设备。 1. 混合设备 混合设备的选择应考虑原料的粒度、混合效果以及生产能力。常见的混合设备包括双轴混合机和球磨机等。 2. 烧结设备 烧结设备的主要考虑因素是温度控制和反应效率。
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我想了解一下碳化硅的生产工艺？ - 知乎
Web 结果2021年12月24日 如赵争鸣教授强调的那样，SiC器件的快速发展将经历从理想优势到应用效益的转变，人们先是期待获得高频、高压、高温等优异的特性，也得到了一些好处，效率提高很多，但也发现了大量问题，在实际现场大规模使用SiC MOSFET仍处在一个两难的阶段。. 因此，要 ... 我想了解一下碳化硅的生产工艺？ - 知乎Web 结果2021年12月24日 如赵争鸣教授强调的那样，SiC器件的快速发展将经历从理想优势到应用效益的转变，人们先是期待获得高频、高压、高温等优异的特性，也得到了一些好处，效率提高很多，但也发现了大量问题，在实际现场大规模使用SiC MOSFET仍处在一个两难的阶段。. 因此，要 ...
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碳化硅 ~ 制备难点 - 知乎
Web 结果2023年3月13日 晶体制备. 由于物理的特性，碳化硅材料拥有很高的硬度，目前仅次于金刚石，因此在生产上势必要在高温与高压的条件下才能生产。. 以PVT法为例，碳化硅晶体制备面临以下困难：. 温场控制困难、生产速度缓慢：以目前的主流制备方法物理气相传输法（PVT）为 ... 碳化硅 ~ 制备难点 - 知乎Web 结果2023年3月13日 晶体制备. 由于物理的特性，碳化硅材料拥有很高的硬度，目前仅次于金刚石，因此在生产上势必要在高温与高压的条件下才能生产。. 以PVT法为例，碳化硅晶体制备面临以下困难：. 温场控制困难、生产速度缓慢：以目前的主流制备方法物理气相传输法（PVT）为 ...
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碳化硅素生产设备
Web 结果碳化硅素生产设备 2022-01-30T10:01:08+00:00 造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？工艺碳化硅中国 2023年5月21日 碳化硅器件生产各工艺环节关键设备 由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为 ... 碳化硅素生产设备Web 结果碳化硅素生产设备 2022-01-30T10:01:08+00:00 造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？工艺碳化硅中国 2023年5月21日 碳化硅器件生产各工艺环节关键设备 由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为 ...
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碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有 ...
Web 结果4.3. 露笑科技：碳化硅布局国内领先，定增扩产 24 万片导电型衬底产能 公司成立于 2003 年，为国内最大的专业漆包线生产商之一、及国内领先的蓝宝石长 晶炉生产厂商。依托于蓝宝石业务的积累，向碳化硅“设备——衬底——外延”的 全产业链延伸。 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有 ...Web 结果4.3. 露笑科技：碳化硅布局国内领先，定增扩产 24 万片导电型衬底产能 公司成立于 2003 年，为国内最大的专业漆包线生产商之一、及国内领先的蓝宝石长 晶炉生产厂商。依托于蓝宝石业务的积累，向碳化硅“设备——衬底——外延”的 全产业链延伸。
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