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详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎
Web 结果2023年4月28日 碳化硅衬底的加工主要分为以下几个工序，切割，粗磨，精磨，粗抛，精抛（CMP）。 1.切割. 切割是将SiC晶棒沿着一定的方向切割成晶体薄片的过程 详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎Web 结果2023年4月28日 碳化硅衬底的加工主要分为以下几个工序，切割，粗磨，精磨，粗抛，精抛（CMP）。 1.切割. 切割是将SiC晶棒沿着一定的方向切割成晶体薄片的过程
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中北大学刘瑶副教授、祝锡晶教授等：SiC陶瓷先进磨削技术 ...
Web 结果4 天之前 碳化硅（SiC）陶瓷是一种重要的结构材料，具有优异的耐磨性、导热性、耐腐蚀性。 同时，由于其高硬度和高脆性的特性，SiC是典型的难加工材料。 磨削技 中北大学刘瑶副教授、祝锡晶教授等：SiC陶瓷先进磨削技术 ...Web 结果4 天之前 碳化硅（SiC）陶瓷是一种重要的结构材料，具有优异的耐磨性、导热性、耐腐蚀性。 同时，由于其高硬度和高脆性的特性，SiC是典型的难加工材料。 磨削技
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创新型超硬碳化硅结合金刚石 (DSiC) 材料的激光辅助表面磨削 ...
Web 结果2024年2月27日 为了解决碳化硅结合剂金刚石材料磨削中的这些技术限制，开发了激光辅助磨削工艺。 超短脉冲激光辐射被有效地利用来诱导材料烧蚀并控制结构损 创新型超硬碳化硅结合金刚石 (DSiC) 材料的激光辅助表面磨削 ...Web 结果2024年2月27日 为了解决碳化硅结合剂金刚石材料磨削中的这些技术限制，开发了激光辅助磨削工艺。 超短脉冲激光辐射被有效地利用来诱导材料烧蚀并控制结构损
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碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势-电子工程专辑
Web 结果2022年10月9日 目前报道的碳化硅切片加工技术主要包括固结、游离磨料切片、激光切割、冷分离和电火花切片，不同技术对应的性能指标如表 1 所示，其中往复式金刚 碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势-电子工程专辑Web 结果2022年10月9日 目前报道的碳化硅切片加工技术主要包括固结、游离磨料切片、激光切割、冷分离和电火花切片，不同技术对应的性能指标如表 1 所示，其中往复式金刚
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碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究 - 豆丁网
Web 结果2024年3月14日 结合实际生产情 况，不断调整和 优化工艺参数， 实现碳化硅磨削 微观 损伤机理在 高性能磨削技术 中的有效应用。 提高磨削表面质量 选用合适的磨料 碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究 - 豆丁网Web 结果2024年3月14日 结合实际生产情 况，不断调整和 优化工艺参数， 实现碳化硅磨削 微观 损伤机理在 高性能磨削技术 中的有效应用。 提高磨削表面质量 选用合适的磨料
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碳化硅的金刚石高效精密磨削机理和实验研究 - 百度学术
Web 结果碳化硅的金刚石高效精密磨削机理和实验研究. 碳化硅陶瓷具有高强度和硬度,高弹性模量,低密度,良好的导热性和低膨胀性等优点,在石油,化工,航空航天,汽车等工业领域得 碳化硅的金刚石高效精密磨削机理和实验研究 - 百度学术Web 结果碳化硅的金刚石高效精密磨削机理和实验研究. 碳化硅陶瓷具有高强度和硬度,高弹性模量,低密度,良好的导热性和低膨胀性等优点,在石油,化工,航空航天,汽车等工业领域得
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碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究 - 百度学术
Web 结果碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究. 高速加工是20世纪70年代在欧洲和美国兴起的一种加工技术,它可以根据加工对象的不同,在高材料去除率,极好的加工 碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究 - 百度学术Web 结果碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究. 高速加工是20世纪70年代在欧洲和美国兴起的一种加工技术,它可以根据加工对象的不同,在高材料去除率,极好的加工
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碳化硅的制备及应用最新研究进展 - 汉斯出版社
Web 结果常用的制备碳化硅粉体方法有碳热还原法、机械粉碎法、溶胶–凝胶法、化学气相沉积法和等离子体气相合成法等等。 本文对SiC粉体的制备、碳化硅陶瓷烧结技术和应用 碳化硅的制备及应用最新研究进展 - 汉斯出版社Web 结果常用的制备碳化硅粉体方法有碳热还原法、机械粉碎法、溶胶–凝胶法、化学气相沉积法和等离子体气相合成法等等。 本文对SiC粉体的制备、碳化硅陶瓷烧结技术和应用
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碳化硅SIC材料研究现状与行业应用 - 知乎
Web 结果2019年9月2日 随着1978年的大面积碳化硅籽晶生长法的出现以及随后碳化硅薄膜制备技术的完备，碳化硅材料得到了进一步的发展。. 随着碳化硅材料制造工艺的进一步发展，以及制造成本的不断下降，碳化 碳化硅SIC材料研究现状与行业应用 - 知乎Web 结果2019年9月2日 随着1978年的大面积碳化硅籽晶生长法的出现以及随后碳化硅薄膜制备技术的完备，碳化硅材料得到了进一步的发展。. 随着碳化硅材料制造工艺的进一步发展，以及制造成本的不断下降，碳化
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碳化硅单晶衬底切、磨、抛材料整体解决方案_发展_加工_的表面
Web 结果2022年10月28日 SiC衬底不止贵，生产工艺还复杂，与硅相比，SiC很难处理。. SiC单晶衬底加工过程包括单晶多线切割、研磨、抛光、清洗最终得到满足外延生长的衬底片。. SiC是世界上硬度排名第三的物质，不仅具有高硬度的特点，高脆性、低断裂韧性也使得其磨削加工过程中易 ... 碳化硅单晶衬底切、磨、抛材料整体解决方案_发展_加工_的表面Web 结果2022年10月28日 SiC衬底不止贵，生产工艺还复杂，与硅相比，SiC很难处理。. SiC单晶衬底加工过程包括单晶多线切割、研磨、抛光、清洗最终得到满足外延生长的衬底片。. SiC是世界上硬度排名第三的物质，不仅具有高硬度的特点，高脆性、低断裂韧性也使得其磨削加工过程中易 ...
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磨削碳化硅生产技术
Web 结果2020年5月20日 碳化硅SIC材料研究现状与行业应用 - 知乎 2019-9-2 由于碳化硅材料属于高硬脆性材料，需要采用专用的研磨液，碳化硅研磨的主要技术难点在于高硬度材料减薄厚度的精确测量及控制，磨削后晶圆表面出现损伤、微裂纹和残余应力，碳化硅晶圆减薄后会产生比碳化硅晶圆更大的翘曲现象。 磨削碳化硅生产技术Web 结果2020年5月20日 碳化硅SIC材料研究现状与行业应用 - 知乎 2019-9-2 由于碳化硅材料属于高硬脆性材料，需要采用专用的研磨液，碳化硅研磨的主要技术难点在于高硬度材料减薄厚度的精确测量及控制，磨削后晶圆表面出现损伤、微裂纹和残余应力，碳化硅晶圆减薄后会产生比碳化硅晶圆更大的翘曲现象。
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碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速 ...
Web 结果2023年4月26日 生产碳化硅单晶衬底的关键步骤是晶体生长，也是碳化硅 半导体材料应用的主要技术难点，是产业链中技术密集型和资金密集型 的环节。 SiC 单晶生长方法主要有：物理气相传输法（PVT)、高温化学 气相沉积法（HTCVD)和以顶部籽晶溶液生长法(TSSG)为主流的高温溶 液生长法（HTSG）。 碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速 ...Web 结果2023年4月26日 生产碳化硅单晶衬底的关键步骤是晶体生长，也是碳化硅 半导体材料应用的主要技术难点，是产业链中技术密集型和资金密集型 的环节。 SiC 单晶生长方法主要有：物理气相传输法（PVT)、高温化学 气相沉积法（HTCVD)和以顶部籽晶溶液生长法(TSSG)为主流的高温溶 液生长法（HTSG）。
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碳化硅SiC衬底生产工艺流程及方法 - 知乎
Web 结果2024年2月29日 切割方法主要有砂浆线切割、金刚线多线切割和激光辐照剥离。. 研磨抛光是将衬底表面加工至原子级光滑平面，衬底的表面状态，例如表面粗糙度，厚度均匀性都会直接影响外延工艺的质量。. 碳化硅具有高硬度的特点，常用的适合碳化硅的磨料有碳化硼、金刚 ... 碳化硅SiC衬底生产工艺流程及方法 - 知乎Web 结果2024年2月29日 切割方法主要有砂浆线切割、金刚线多线切割和激光辐照剥离。. 研磨抛光是将衬底表面加工至原子级光滑平面，衬底的表面状态，例如表面粗糙度，厚度均匀性都会直接影响外延工艺的质量。. 碳化硅具有高硬度的特点，常用的适合碳化硅的磨料有碳化硼、金刚 ...
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磨削碳化硅生产技术
Web 结果碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势 知乎2021年12月16日 摘 要:碳化硅单晶具有极高的硬度和脆性，传统加工方式已经不能有效地获得具有超高光滑表面的碳化硅晶片。针对碳化硅单晶衬底加工技术，本文综述了碳化硅 一种碳化硅单晶衬底的加工方法与流程碳化硅单晶衬底加工技术 ... 磨削碳化硅生产技术Web 结果碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势 知乎2021年12月16日 摘 要:碳化硅单晶具有极高的硬度和脆性，传统加工方式已经不能有效地获得具有超高光滑表面的碳化硅晶片。针对碳化硅单晶衬底加工技术，本文综述了碳化硅 一种碳化硅单晶衬底的加工方法与流程碳化硅单晶衬底加工技术 ...
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详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎
Web 结果2023年4月28日 通常碳化硅衬底厂的抛光工艺分为粗抛和精抛. 1)粗抛：常用的粗抛工艺采用高锰酸钾氧化铝粗抛液搭配无纺布粗抛垫，通常采用的是杜邦的SUBA800。. 高锰酸钾起到氧化腐蚀作用，纳米氧化铝颗粒起到机械磨削的作用，加工后的碳化硅衬底片表面粗糙度能达到0.2nm ... 详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎Web 结果2023年4月28日 通常碳化硅衬底厂的抛光工艺分为粗抛和精抛. 1)粗抛：常用的粗抛工艺采用高锰酸钾氧化铝粗抛液搭配无纺布粗抛垫，通常采用的是杜邦的SUBA800。. 高锰酸钾起到氧化腐蚀作用，纳米氧化铝颗粒起到机械磨削的作用，加工后的碳化硅衬底片表面粗糙度能达到0.2nm ...
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中国碳化硅产业链全景图，附30家企业汇总 - 知乎
Web 结果2023年5月8日 碳化硅行业企业的业态主要可以分为两种商业模式：第一类是覆盖较全的产业链环节，同时从事碳化硅衬底、外延及器件的制作，例如科锐公司等；第二类是只从事产业链的单个或者部分环节，例如II-VI公司等。. 国内碳化硅产业起步较晚。. 衬底方面，科锐和II ... 中国碳化硅产业链全景图，附30家企业汇总 - 知乎Web 结果2023年5月8日 碳化硅行业企业的业态主要可以分为两种商业模式：第一类是覆盖较全的产业链环节，同时从事碳化硅衬底、外延及器件的制作，例如科锐公司等；第二类是只从事产业链的单个或者部分环节，例如II-VI公司等。. 国内碳化硅产业起步较晚。. 衬底方面，科锐和II ...
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半导体碳化硅(SiC) 衬底加工技术进展详解； - 知乎专栏
Web 结果2024年2月1日 半导体碳化硅 (SiC) 衬底加工技术进展详解；. 经过单晶生长获得SiC晶碇后，紧接着就是 SiC 衬底的制备，通常需要历经磨平、滚圆、切割、研磨（减薄)、机械抛光、化学机械抛光、清洗、检测等众多工序。. 这是由于 SiC 晶体硬度高、脆性大、化学性质稳定，受 ... 半导体碳化硅(SiC) 衬底加工技术进展详解； - 知乎专栏Web 结果2024年2月1日 半导体碳化硅 (SiC) 衬底加工技术进展详解；. 经过单晶生长获得SiC晶碇后，紧接着就是 SiC 衬底的制备，通常需要历经磨平、滚圆、切割、研磨（减薄)、机械抛光、化学机械抛光、清洗、检测等众多工序。. 这是由于 SiC 晶体硬度高、脆性大、化学性质稳定，受 ...
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碳化硅菲涅尔微结构的激光-超精密磨削工艺技术基础 - 百度学术
Web 结果围绕碳化硅菲涅尔微结构这种典型硬脆复杂零件的高效高精度加工目标,本文开展了碳化硅的激光加工机理,菲涅尔微结构的激光成型工艺,菲涅尔微结构磨削波纹度等方面的理论和实验研究.本论文主要包含以下几个方面: (1)通过激光烧蚀环槽实验分析了红外亚纳秒 ... 碳化硅菲涅尔微结构的激光-超精密磨削工艺技术基础 - 百度学术Web 结果围绕碳化硅菲涅尔微结构这种典型硬脆复杂零件的高效高精度加工目标,本文开展了碳化硅的激光加工机理,菲涅尔微结构的激光成型工艺,菲涅尔微结构磨削波纹度等方面的理论和实验研究.本论文主要包含以下几个方面: (1)通过激光烧蚀环槽实验分析了红外亚纳秒 ...
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工艺详解碳化硅晶片的工艺流程 - 知乎 - 随心写作，自由表达
Web 结果2020年12月8日 [1] 因此，SiC晶体材料已经成为半导体照明技术领域不可缺少的衬底材料。 其中，SiC衬底加工技术是器件制作的重要基础，其表面加工的质量和精度的优劣，直接影响外延薄膜的质量及其器件的性能，因此在其应用中均要求晶片表面超光滑、无缺陷、无损伤，表面粗糙度值达纳米级以下。 工艺详解碳化硅晶片的工艺流程 - 知乎 - 随心写作，自由表达Web 结果2020年12月8日 [1] 因此，SiC晶体材料已经成为半导体照明技术领域不可缺少的衬底材料。 其中，SiC衬底加工技术是器件制作的重要基础，其表面加工的质量和精度的优劣，直接影响外延薄膜的质量及其器件的性能，因此在其应用中均要求晶片表面超光滑、无缺陷、无损伤，表面粗糙度值达纳米级以下。
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碳化硅衬底切割技术的详解； - 知乎
Web 结果2023年10月27日 在碳化硅生产流程中，碳化硅衬底制备是最核心环节，技术壁垒高，难点主要在于晶体生长和切割。单晶生长后，将生长出的晶体切成片状，由于碳化硅的莫氏硬度为9.2，仅次于金刚石，属于高硬脆性材料，因此切割过程耗时久，易裂片。 碳化硅衬底切割技术的详解； - 知乎Web 结果2023年10月27日 在碳化硅生产流程中，碳化硅衬底制备是最核心环节，技术壁垒高，难点主要在于晶体生长和切割。单晶生长后，将生长出的晶体切成片状，由于碳化硅的莫氏硬度为9.2，仅次于金刚石，属于高硬脆性材料，因此切割过程耗时久，易裂片。
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关于磨削加工，最重要的20个重点问题答疑 - 知乎
Web 结果2020年10月17日 关于磨削加工，最重要的20个重点问题答疑. 1、什么是磨削加工？. 试举出几种磨削加工形式。. 答：磨削加工是借助磨具的切削作用，除去工件表面的多余层，使工件表面质量达到预定要求的加工方法。. 常见的磨削加工形式通常有：外圆磨削、内圆磨削、无心 ... 关于磨削加工，最重要的20个重点问题答疑 - 知乎Web 结果2020年10月17日 关于磨削加工，最重要的20个重点问题答疑. 1、什么是磨削加工？. 试举出几种磨削加工形式。. 答：磨削加工是借助磨具的切削作用，除去工件表面的多余层，使工件表面质量达到预定要求的加工方法。. 常见的磨削加工形式通常有：外圆磨削、内圆磨削、无心 ...
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磨削设备、磨削方法及用于玻璃生产设备的碳化硅板与流程
Web 结果本发明涉及切削加工设备，具体地，涉及一种磨削设备。此外，本发明还涉及一种磨削方法和用于玻璃生产设备的碳化硅板。背景技术： 在液晶玻璃基板生产线中，常常需要使用高精度的碳化硅耐火材料，例如，作为一种典型的加热设备，马弗炉需要使用加工精度高、具有较高硬度的碳化硅板，该 ... 磨削设备、磨削方法及用于玻璃生产设备的碳化硅板与流程Web 结果本发明涉及切削加工设备，具体地，涉及一种磨削设备。此外，本发明还涉及一种磨削方法和用于玻璃生产设备的碳化硅板。背景技术： 在液晶玻璃基板生产线中，常常需要使用高精度的碳化硅耐火材料，例如，作为一种典型的加热设备，马弗炉需要使用加工精度高、具有较高硬度的碳化硅板，该 ...
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磨削碳化硅生产技术
Web 结果11小时之前宇环数控(002903)主营业务：公司一直专业从事数控磨削设备及智能装备的研发、生产、销售与服务,为客户提供精密磨削与智能制造技术综合解决方案碳化硅菲涅尔微结构的激光—超精密磨削工艺技术基础,本文将激光加工与超精密磨削这两种技术相 磨削碳化硅生产技术Web 结果11小时之前宇环数控(002903)主营业务：公司一直专业从事数控磨削设备及智能装备的研发、生产、销售与服务,为客户提供精密磨削与智能制造技术综合解决方案碳化硅菲涅尔微结构的激光—超精密磨削工艺技术基础,本文将激光加工与超精密磨削这两种技术相
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碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究 - 豆丁网
Web 结果2024年3月14日 结合实际生产情 况，不断调整和 优化工艺参数， 实现碳化硅磨削 微观 损伤机理在 高性能磨削技术 中的有效应用。 提高磨削表面质量 选用合适的磨料和冷却液，减少热损伤和表面划痕 引入先进的高性能磨削技术，如CBN磨削、超声辅助磨削 碳化硅磨削微观损伤机理及其高性能磨削技术研究 - 豆丁网Web 结果2024年3月14日 结合实际生产情 况，不断调整和 优化工艺参数， 实现碳化硅磨削 微观 损伤机理在 高性能磨削技术 中的有效应用。 提高磨削表面质量 选用合适的磨料和冷却液，减少热损伤和表面划痕 引入先进的高性能磨削技术，如CBN磨削、超声辅助磨削
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磨削碳化硅生产技术
Web 结果磨削碳化硅生产技术 2021-08-17T18:08:49+00:00 碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势 知乎 2021年12月16日 摘 要:碳化硅单晶具有极高的硬度和脆性，传统加工方式已经不能有效地获得具有超高光滑表面的碳化硅晶片。针对碳化硅单晶衬底加工技术，本文 磨削碳化硅生产技术Web 结果磨削碳化硅生产技术 2021-08-17T18:08:49+00:00 碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势 知乎 2021年12月16日 摘 要:碳化硅单晶具有极高的硬度和脆性，传统加工方式已经不能有效地获得具有超高光滑表面的碳化硅晶片。针对碳化硅单晶衬底加工技术，本文
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半导体行业专题研究报告：半导体切磨抛装备材料的国产化趋势
Web 结果2023年3月2日 同时新技术可抑制晶圆起伏，无需研磨操作。 碳化器件减薄：碳化硅断裂韧性较低，在薄化过程中易开裂，导致碳化硅晶片的减薄非 常困难。DISCO 通过 4 轴磨削提高生产率，通过干法抛光提高质量。 半导体行业专题研究报告：半导体切磨抛装备材料的国产化趋势Web 结果2023年3月2日 同时新技术可抑制晶圆起伏，无需研磨操作。 碳化器件减薄：碳化硅断裂韧性较低，在薄化过程中易开裂，导致碳化硅晶片的减薄非 常困难。DISCO 通过 4 轴磨削提高生产率，通过干法抛光提高质量。
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碳化硅晶片加工过程及难点 - 知乎
Web 结果2022年1月21日 碳化硅衬底加工难点. 四、切割磨损高，由于碳化硅的硬度极大，在对其进行切割时加工难度较高且磨损多。. 昂贵的时间成本和复杂的加工工艺使得碳化硅衬底的成本较高，限制了碳化硅的应用放量。. 此外，晶片尺寸越大，对应晶体的生长与加工技术难度越大 ... 碳化硅晶片加工过程及难点 - 知乎Web 结果2022年1月21日 碳化硅衬底加工难点. 四、切割磨损高，由于碳化硅的硬度极大，在对其进行切割时加工难度较高且磨损多。. 昂贵的时间成本和复杂的加工工艺使得碳化硅衬底的成本较高，限制了碳化硅的应用放量。. 此外，晶片尺寸越大，对应晶体的生长与加工技术难度越大 ...
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